Un microscope électronique à balayage (MEB) est un microscope à très haute résolution qui permet de voir de petites choses dans les moindres détails. Ceci est un aperçu rapide sur la façon de prendre des photos d'un échantillon à l'aide d'un. Gardez à l'esprit qu'un SEM est un équipement très délicat et doit être utilisé avec le plus grand soin. Cependant, suivre ces étapes de près garantira presque que vous n'endommagerez pas votre microscope. Il existe également de nombreuses autres fonctionnalités qui ne sont pas abordées dans cet article, mais cette procédure décrit comment obtenir une image de base.
Cet article fournit des instructions spécifiques pour un microscope JEOL JSM-6010LA. Tout microscope JEOL aura des contrôles extrêmement similaires au microscope décrit dans ces instructions. Les microscopes Hitachi seront également très similaires, mais d'autres marques telles que Zeiss pourraient avoir des boutons de commande à différents endroits.
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Étape 1. Obtenez un échantillon préparé
La préparation d'un échantillon pour la microscopie électronique est une procédure très approfondie en soi, donc pour cette procédure, utilisez un échantillon qui a été préparé pour vous. Si un échantillon est préparé pour le SEM, il devra être d'une taille appropriée et devra également avoir une surface conductrice. Étant donné que l'échantillon a déjà été préparé, cet article supposera qu'il répond à ces qualifications.
Étape 2. Amener le SEM à la pression atmosphérique afin d'ouvrir la porte de l'échantillon
Comprenez que le SEM sera toujours sous tension et que la chambre d'échantillon sera toujours sous vide. Cela signifie que la chambre sera complètement vide de toute molécule de gaz afin que les électrons aient un chemin clair vers l'échantillon. Appuyez sur le bouton VENT et maintenez-le enfoncé jusqu'à ce qu'il clignote et que vous entendiez un clic. Le bouton VENT continuera à clignoter jusqu'à ce que l'environnement dans la chambre soit porté à la pression atmosphérique. Une fois que le bouton VENT est orange fixe, cela signifie que la chambre est à la pression atmosphérique et que vous pouvez ouvrir la porte.
Étape 3. Mettez des gants
Ceci est extrêmement important car la chambre du SEM doit rester très propre !
- En utilisant les poignées de chaque côté de la porte, faites glisser la porte lentement.
- Une fois la porte ouverte, saisissez soigneusement le porte-échantillon et faites-le glisser vers la droite. Il se détachera de ses rainures et vous pouvez maintenant charger votre échantillon.
- Sur chacun des quatre coins du porte-échantillon, il y a deux vis de réglage qui maintiennent l'échantillon en place. Desserrez légèrement ces vis (un demi-tour de tournevis devrait suffire) puis retirez l'échantillon à blanc du support.
- Vous pouvez mettre l'échantillon vierge de côté pour le moment, mais assurez-vous de le placer sur un Kimwipe et non directement sur un bureau ou une table. Placez votre échantillon dans le support, puis serrez les vis.
- Lorsque votre échantillon est en place, allez-y et faites glisser le porte-échantillon dans ses rainures sur la platine à échantillon.
- Vous pouvez maintenant fermer la porte en la repoussant dans la chambre.
Étape 4. Tout en maintenant la porte fermée, appuyez sur le bouton EVAC et maintenez-le enfoncé jusqu'à ce qu'il commence à clignoter pour remettre la chambre sous vide
Vous entendrez des clics, puis au bout d'une minute environ, vous entendrez les turbines de la pompe tourner. Ces pompes élimineront toutes les particules de gaz de la chambre et amèneront la pression interne à environ 10^-6 torr. Lorsque le bouton EVAC s'allume en vert fixe, cela signifie que la chambre est sous vide. Attendez maintenant 5 minutes supplémentaires avant de passer à l'étape suivante.
Étape 5. Une fois les 5 minutes écoulées, vous êtes prêt à allumer le faisceau d'électrons et à commencer à prendre des photos
- Accédez à l'ordinateur du SEM et le logiciel du microscope doit être activé. Le bouton vert dans le coin supérieur droit de l'écran indiquera OFF, indiquant que le faisceau d'électrons est éteint. Cliquez dessus pour allumer le faisceau, puis il dira ON.
- Ensuite, cliquez sur le bouton ACB (contraste et luminosité automatiques) et votre échantillon devrait apparaître.
- À l'aide du bouton de grossissement du panneau de commande, effectuez un zoom avant sur le grossissement souhaité. C'est une bonne idée de faire votre mise au point à un grossissement plus élevé que vous ne le souhaitez pour votre image, donc votre image sera meilleure lorsque vous effectuerez un zoom arrière. Par exemple, si vous voulez une image à 2 500x, vous voudrez peut-être faire la mise au point à environ 4 000x.
- Une fois que vous avez zoomé, utilisez le bouton de mise au point pour mettre votre image au point.
Étape 6. Ajustez la hauteur de l'échantillon
Votre échantillon est maintenant net, mais vous remarquerez peut-être qu'il n'est pas aussi beau que prévu.
- Sous l'image de votre échantillon sur l'écran de l'ordinateur, vous verrez la distance de travail spécifiée comme "WD x mm" où x est un nombre généralement autour de 10-20. Prenez note de ce numéro.
- Pour de bonnes images, vous pouvez utiliser une distance de travail de 10 mm. Cela signifie que le faisceau est focalisé à 10 mm de l'objectif. Pour définir votre distance de travail, cliquez sur "WD x mm" et un curseur apparaîtra, vous permettant de changer le nombre x en 10. Allez-y et cliquez sur 10.
- Actuellement, la hauteur de l'échantillon est Z=25mm. Pour modifier la hauteur de l'échantillon, vous utiliserez le bouton Z. Cette partie peut être délicate. Quelle que soit la distance de travail d'origine, soustrayez 10 de is et c'est de combien vous aurez besoin pour déplacer votre bouton Z. Par exemple, si votre WD était de 16 mm et que vous l'avez changé à 10 mm, vous devrez déplacer votre bouton Z vers le bas d'environ 6 mm. Vous le tournerez donc à environ 19 mm.
- Pendant que vous tournez le bouton Z, observez l'écran car il commencera à se mettre au point. Une fois la mise au point effectuée, votre photo est prête !
Étape 7. Effectuez un zoom arrière jusqu'au grossissement souhaité et si vous souhaitez passer à une autre zone de votre échantillon, vous pouvez utiliser les boutons X et Y
Vous pouvez également régler le contraste et la luminosité à votre guise. Lorsque vous trouvez une zone que vous aimez, prenez une photo en cliquant sur l'icône de l'appareil photo qui dit "MAGASIN". Cela ouvrira une boîte de dialogue vous permettant d'enregistrer votre fichier image. Vous pouvez nommer le fichier comme vous le souhaitez et le stocker dans n'importe quel dossier de l'ordinateur ou sur une clé USB.
Étape 8. Désactivez le faisceau d'électrons en cliquant sur le bouton vert indiquant « ON » dans le coin supérieur droit
Assurez-vous qu'il indique "OFF" avant de continuer. Tournez les boutons X, Y et Z de sorte que chaque valeur soit de 25 mm. Appuyez maintenant sur le bouton VENT et maintenez-le enfoncé jusqu'à ce qu'il clignote pour ramener la chambre d'échantillon à la pression atmosphérique.
Étape 9. Ouvrez la chambre d'échantillon une fois que le bouton VENT est orange fixe
Une fois que vous avez retiré votre échantillon du support, replacez l'échantillon vierge dans le support et glissez-le de nouveau dans la platine d'échantillon. Faites glisser la porte vers la position fermée. Enfin, maintenez enfoncé le bouton EVAC jusqu'à ce qu'il clignote. NE JAMAIS laisser la chambre SEM ventilée, cela peut endommager les pièces à l'intérieur. Une fois que le bouton EVAC s'allume en vert fixe, il est sauvegardé pour quitter le SEM.
Mises en garde
- Il est très important de porter des gants lorsque vous touchez tout ce qui entrera dans la chambre d'échantillonnage !
- Jamais laisser la chambre SEM ventilée. Si vous quittez le SEM, assurez-vous que le bouton EVAC est allumé en vert fixe.
- Si votre échantillon n'a pas été préparé spécialement pour un MEB, ne le mettez pas au microscope ! Certains échantillons ne s'afficheront tout simplement pas bien, mais d'autres peuvent en fait endommager les pièces internes.
